EUV光刻機(jī)在半導(dǎo)體制造中扮演著舉足輕重的作用，而EUV光刻機(jī)當(dāng)前只有荷蘭的ASML公司才能生產(chǎn)，單臺(tái)售價(jià)已高達(dá)10億人民幣，且常常一機(jī)難求。

　　之前一些半導(dǎo)體智造商都要搶著購買EUV光刻機(jī)，然后，自今年開始，半導(dǎo)體形勢(shì)正在發(fā)生悄然變化，EUV光刻機(jī)反而因?yàn)楹碾娞?，臺(tái)積電計(jì)劃關(guān)閉省電。

　　據(jù)直線電機(jī)生產(chǎn)廠家小編所知，EUV光刻機(jī)相較于DUV光刻機(jī)等其他光刻機(jī)，需要使用能量高的激光器，而且光線會(huì)多次折射導(dǎo)致很大損耗，早期效率只有0.02%，現(xiàn)在量產(chǎn)的說是可以達(dá)到2%效率，但也意味著絕大多數(shù)電力都要消耗掉。EUV光刻機(jī)生產(chǎn)需要約3萬度電/天，一年耗電約1000萬度，就是一個(gè)電老虎，正因?yàn)榇?，讓半?dǎo)體智造商不堪重負(fù)，計(jì)劃關(guān)閉。

　　說到光刻機(jī)，直線電機(jī)因具備高速度、高精度等特點(diǎn)，被大力引入光刻機(jī)中作為驅(qū)動(dòng)裝置。

　　昆山同茂電子有限公司是一家擁有十余年歷史經(jīng)驗(yàn)的直線電機(jī)生產(chǎn)廠家，同茂造直線電機(jī)在光刻機(jī)中已有實(shí)際應(yīng)用案例，像上海微電子（國內(nèi)本土光刻機(jī)智造商）就是咱同茂的合作客戶。

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